高温，多净化
工艺耐久性


根处理的 小功耗
功率消耗


01
特征
根干泵良好的工艺耐久性
低功耗。
02
特征
适用范围广
从轻到中等。* 1
03
特征
热N2吹扫可用
提高工艺耐久性。[MU-H系列]