想买卧式光学镀膜机上振华真空
广东振华科技股份有限公司创立伊始,规模逐步发展壮大,凭着过硬的生产技术、丰富的管理经验,好的客户服务和良好的企业信誉,在光学加工机械行业不断进步。在短时间内完成了企业创建、完善、发展完善的过程,卧式光学镀膜机市场广阔,产品已经销售到全国。
GXW系列-卧式光学镀膜机|卧式光学真空镀膜机
技术特点:
■ 配置有扇形多片夹具或拱形单工件盘,可镀制层数较多的短波通、长波通、减反射膜、滤光片等
■ 利用人机界面触摸屏+PLC与全自动晶振膜厚仪构成全自动控制系统
■ 采用美国产晶振膜厚仪SQC-310与PLC构成全自动控制真空及电子束自动蒸发系统
■ 采用新一代大容量e型电子,适合稳定镀制从数层到多达数十层的膜层(带嵌入式电子束扫描单元、坩埚定位单元可移动体机械单元等模块)
■ 采用 的大功率可摆式霍尔离子源(采用自动切换功能的双灯丝阴极或空心阴极)
■ 采用专门研发的多功能工件传动方式(公转或行星式旋转架)
■ 采用高速真空机组+深冷系统或分子泵(保证高效率及高稳定性的真空特性)
光学镀膜设备主要技术指标:
设备型号 GX-900A GX-1100A GX-1200A GX-1350A GXW-1600A
尺寸 900×1050 1100×1200 1200×1450 1350×1500 1600X1000
制膜种类 光学增透膜、减反射膜(AR)、宽带增透、单点增透、截止滤光片、七彩装饰功能膜等
工件夹具 拱型四片装夹、拱型单工件盘公转、三工件盘行星公自转、12轴公自转(卧式)
加热系统 发热管上加热方式,PID控制,至高温度350度
真空室结构 立式前开门、卧式前开门(304不绣钢)、后置真空系统
真空系统 滑阀泵(旋片泵)+罗茨泵+扩散泵+维持泵(或选配:分子泵、深冷泵、深冷系统)
工作气体系统 质量流量控制仪+电磁阀
电子 电子四圆形坩埚加一个U形坩埚,高压4KV-8KV可调,可自由选择三角波、正弦波、方波扫描电动定位
电阻蒸发源 2组电阻蒸发源
离子源 功率2KW,阳极电流6A。双灯丝(自动切换)提高附着力、膜层密度、稳定折射率。(霍尔源)
晶振膜厚仪 由美国产晶振膜厚仪SQC-310与PLC构成全自动控制抽真空及电子束自动蒸发系统,实现设备的全自动控制
真空 8×10-4pa(空载、净室)
抽气时间 空载大气抽至5×10-2pa小于6分钟
工件旋转方式 6轴/8轴/9轴公自转/变频无级调速
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