厂家批发氧化锆电器陶瓷结构件_推荐东莞优良的氧化锆电器陶瓷结构件
所在地:广东省东莞市
联系人:曹先生
价格:面议
品牌:砾石,,,,
发布时间:2024-06-19
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砾石实业不断地根据市场消费者心理变化,对传统的高度同质化、大众化的产品予以更新、改进,以其特别新颖的外观和功能研发生产了氧化锆电器陶瓷结构件。可靠的品质赢得了各界客户的青睐,亨有良好的市场声誉。我们为客户提供的氧化锆电器陶瓷结构件,支持在线支付;现金支付;银行转账;货到付款方式交易,产品会在3-5天内发货,为了客户买的放心,用的安心,我们还为客户提供7天无理由退换货的售后服务,专人为你解答,请放心购买。
砾石实业作为有品质氧化锆电器陶瓷结构件和解决方案的提供者,依靠成熟的技术、有品质的产品和完善的服务,现在已发展成为了绝缘材料行业领域的企业,致力为工业陶瓷使用人群打造具有良好加工零件用途的氧化锆电器陶瓷结构件,经过多年来的稳步发展,东莞市砾石实业投资有限公司形成了一个有自己企业特色的。
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靶材的主要性能要求
纯度
纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。
杂质含量
靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。
密度
为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布
通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。
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