上海干冰雪花颗粒清洗设备半导体清洗应用-电路板清洗雪花清洗设备改善清洁工艺

于2006-07-05成立创建的迪史洁（上海）清洗设备有限公司，是一家经营范围广、品种多、颇具实力的二氧化碳雪花设备供应商。奉行以品质求生存、以创新求发展、以真诚求信誉、以管理求效益的经营理念。公司业务遍及全国，已成为国内二氧化碳雪花设备经销商。公司严把质量关，立志以优异产品服务于广大芯片行业。

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ITO薄膜具有高透射率、低电阻率的特性，在显示器件中常用作透明电极。ITO玻璃基板表面的清洁程度，直接影响到液晶显示器件生产的成品率；对于OLED器件，lTO薄膜表面状态的影响更大。其清洗方法及表面处理工艺都将影响到ITO薄膜的特性，如化学组成、ITO表面的功函数、ITO薄膜和有机层的接触特性等，进而影响OLED的性能。因此ITO玻璃基板的清洗，要求能除去微米量级的粒子和所有的有机、无机化学物质及污迹、水迹等污染物，并要求清洗后的ITO薄膜具有良好的亲和性。

目前经常用于ITO玻璃表面处理的方法有：化学方法(酸或碱处理)和物理方法(机械抛光、热处理、氧等离子体处理、氧辉光放电及臭氧环境紫外线处理等)。本文采用的是干冰颗粒喷射清洗技术。1986年提出将此方法用于表面清洁。之后W.Gerristead等人对2英寸单晶硅基片进行干冰颗粒喷射清洗，清洗前后硅片上的杂质颗粒由538000／cm2减少到342／cm2，减少程度达99.9％；经x光电子能谱(XPS)测量，清洗前后的基片表面上碳氢化台物的含量降低了25％～30％。此外，干冰颗粒喷射清洗法用于金属、陶瓷、光学器件、聚合体表面、CMOS图像传感器也取得了很好的清洗效果

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迪史洁干冰雪技术 净化系统的心脏是由超音速双环喷嘴制造的专利净化头。液态二氧化碳被引导通过喷嘴，并在出口处扩展成雪和气体的混合物。无油压缩空气是酷到核心喷即喷即喷，加速不燃CO2雪晶体是超音速的。这就是雪花清理过程如此有效的原因:当“轻松聚焦射流冲击表面以进行清理”时，雪花水晶会流动并升华。升华脉冲的原因在表面上的部分接触礼物，干燥的粒子，芯片清洗，灰尘清洁或聚粘清洁，以要求脱粘和携带远离。在它的液态状态下，CO2雪花清洗二氧化碳作为溶剂，可去除铅的有机污染物CO2雪花清洗，例如石油、油脂、蜡、加工介质、防腐涂层或石墨CO2雪花清洗。

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迪史洁干冰雪技术无论是用于塑料喷漆、精密机电产品制造、电子或半导体或光学行业，为了在涂层、喷漆、连接或其他过程中获得高质量的结果，表面都需要没有颗粒、油和油脂。

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干冰雪花清洗三维激光去除能够制造非常小、精细的空腔和形状。这种材料加工用于计算机工业、医疗技术、汽车和航空航天工业，以及其他向小型化发展的行业。由于更短的加工时间和更低的劳动要求，与传统技术相比，该工艺提供了可观的经济效益。这在注塑模具、电子和半导体型材、模具镶块、可转位镶块以及模具和原型的制造中尤其突出。

使用CO2雪花清洗系统干冰雪花清洗可以加工各种材料，如钢、铝、黄铜、硬金属、陶瓷、石墨和碳化硼。在清除过程中，会产生非常细小的残留物，如炉渣或水垢，然后通过抽吸清除。对于非常精细的形状，尤其是具有陡峭壁的形状，累积的残留物会降低激光效率，导致废品。

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CO2雪花清洗系统当这些动作在几分之一秒内发生时，可以非常快速地清洗和去毛刺衬底，同时仍然产生可再现的结果。在清洁过程中，二氧化碳完全转化为气体，基材立即干燥，因此无需进行常规湿化学工艺所需的高能耗干燥过程。CO2雪喷技术还消除了与非常窄的工艺窗口相关的风险，例如在传统工艺中出现的那些，例如电抛光:如果处理时间太短，则不能可靠地去除微小毛刺。如果插管放在浴缸里太久，顶端会变钝。该方法的其他优点包括不需要化学物质，不产生废水，也没有需要处理的溶剂。

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液态二氧化碳被引导通过CO2雪花清洗系统的无磨损双组分环形喷嘴，并在排出时膨胀形成细小的二氧化碳水晶。然后，它们被压缩空气的环形夹套射流捆绑在一起，加速到超音速。这项专利技术了均匀的清洁效果，即使在使用多个喷嘴的大表面上也是如此。

雪和压缩空气的喷射温度为零下78.5摄氏度，可以聚焦在需要的地方。当它撞击要清洁的表面时，会发生热、机械、升华和溶剂效应的组合。这四种清洁机制使CO2雪花清洗系统能够清除薄膜污染物，如冷却润滑剂、加工油、抛光膏、分离剂和硅的残留物，以及微粒污染物，如碎片、灰尘和磨损。由于清洁步骤使用不可燃、无腐蚀性和的一氧化碳2雪对材料也很温和，即使是精细结构的表面也可以处理。

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二氧化碳已被广泛用于清洁玻璃和光学表面。这包括在涂覆光学涂层之前去除污染物，在组装之前或之后清洁表面，以及许多其他应用。我们用二氧化碳雪清洁表面。表面成分，如XPS所发现的和下面给出的，以及光学检查，表明有效清洁。从视觉上看，它们是“干净的”，这一点通过亮场和暗场图像的检查得到了验证。

超临界流体二氧化碳(CO2雪花清洗系统.

无论使用哪种方法，清洗都取决于液体二氧化碳溶剂的性质或冲击固相的能量和动量传递，或溶剂性质和动量或能量传递的组合。颗粒系统依靠宏观颗粒的高冲击速度相关的热机械冲击应力来去除污染物，这是一个动量和能量传递过程。雪喷雾依赖于高速微观雪粒子的动量传递和液态一氧化碳的溶解作用的结合。液态二氧化碳洗涤系统依赖于迪史洁 液相溶剂特性。后，超临界流体系统完全依赖二氧化碳的超临界流体特性。

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面对未来新兴科技的挑战，望能与合作伙伴团结协作，共同进步。迪史洁干冰雪花清洗设备实施科技与人才战略，现已做好充足的准备，在未来的几年里预备投入较多资金继续引进清洗清理设备成熟的生产技术以及生产设备，继续招揽清洗清理设备行业经验丰富、技术过硬的人才。在原有基础上不断创新，注入具备创新思想的新鲜血液，让二氧化碳雪花设备能够融入潮流因素，更加符合市场的需求。

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