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本征区熔高阻硅片的实施，可以有效地减少熔高阻硅片清洗剂在其清洗剂中的使用量，降低生产成本。本征区熔高阻硅片在其清洗剂中活性物质可以吸附在硅片表面，使其长期处于易清洁的物理吸附状态。本征区熔高阻硅片能有效的阻止氧化剂进入人体，在清洗剂中加入一种特殊的溶液，可以使氧化物被吸附在其表面。本征区熔高阻硅片的活性物质可以吸附在硅片表面，使其长期处于易清洗的物理吸附状态，并在表面成保护层，能有效提高外延或扩散工序的成品率。

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